紧凑型直驱Z轴定位平台,行程8mm,其他行程可定制,内置光栅尺,重复定位精度可达±0.2μm,可灵活组合,搭配AMS/AML或AMR叠加成XZ、XYZ或XYZT平台,内置气缸配重.
设计特点
A. 紧凑型设计
B. 直驱技术
C. 高响应
D. 高精度光学编码器
E. 可叠加使用
典型应用领域:适用于亚微米级定位、光学对位平台
参数规格 | 单位 | AMZ65-8 | |
精度等级 | - | P | N |
有效行程 | mm | 8 | |
持续推力 | N | 7.35 | |
峰值推力 | N | 29.4 | |
持续电流 | A | 1.0 | |
峰值电流 | A | 4.0 | |
分辨率 | μm | SINCOS/0.05 | 0.2 |
重复定位精度 | μm | ±0.2 | ±1.0 |
垂直直线度 | μm | ±1.5 | |
平面直线度 | μm | ±1.5 | |
额定负载① | kg | 0.5 | |
空载运动质量 | kg | 0.29 | |
空载总质量 | kg | 0.6 | |
最大容许力矩 | Nm | 0.1 |
注:
① 在无悬臂的情况下,模组的负载能力。
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