XY轴龙门双驱结构,底部两个直线电机同步控制, XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±1um Z轴采用高精度私服电机+丝杆结构,光栅尺 反馈,重复定位精度±1um
产品特性:
XY轴龙门双驱结构,底部两个直线电机同步控制,
XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±1um
Z轴采用高精度私服电机+丝杆结构,光栅尺
反馈,重复定位精度±1um
典型应用领域:高精度点胶机、检测平台、精密零部件组装/拾取。
龙门双驱平台用于测试和激光应用
XTS磁悬浮传输系统
系统应用1
XYT晶圆测试平台