14轴G6.5 大理石平台

用于920mm*1500mm 液晶面板封装

产品特性：

用于920mm*1500mm 液晶面板封装

机械结构：

    横梁：X1-X5 &Z1-Z5  共10轴   

    大理石底座：双电机驱动+Rz校正+LiftPin设计+陶瓷Chuck盘，4轴

满足激光区域：

XY=1600*1500 mm

Vmax=500 mm/s

Z向静态抖动0.1 μm

XY绝对定位精度±5 μm

机台重量接近14吨，上海工厂生产

大理石平台尺寸：2850*2450*2500 mm典型应用领域：G6.5 OLED 激光封装