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XY轴为直线电机，集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.75um Z轴采用高精度私服电机+丝杆结构，光栅尺 反馈，重复定位精度±0.5um。
XYZ微型显微镜平台
产品特性：
XY轴为直线电机，集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.75um
Z轴采用高精度私服电机+丝杆结构，光栅尺
反馈，重复定位精度±0.5um
典型应用领域：
8寸，12寸晶圆检测
上海市闵行区庙泾路66号F510室