XY十字叠加结构,内置直线电机 Z轴采用特别设计,用于光学调焦,重复定位精度±1um XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.5um 底座为采用大理石材料,可以很好的保证下轴超高的平面度和刚性。
产品特性:
XY十字叠加结构,内置直线电机
Z轴采用特别设计,用于光学调焦,重复定位精度±1um
XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.5um
底座为采用大理石材料,可以很好的保证下轴超高的平面度和刚性
典型应用领域:用于3D玻璃激光切割
14轴G6.5 大理石平台
XYZ微型显微镜平台
XYZ点胶注射平台
XYZ双驱龙门平台