XY轴单边龙门结构,仅一侧由直线电机驱动 XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±2um Z轴直线电机,内置高精度光栅尺,行程可达50mm。
产品特性:
XY轴单边龙门结构,仅一侧由直线电机驱动
XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±2um
Z轴直线电机,内置高精度光栅尺,行程可达50mm
典型应用领域:高精度点胶机、检测平台、精密零部件组装。
XPlanar平面磁悬浮输送系统
XYZ 手机零件组装平台
系统应用2
XYZ 晶圆检测平台