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XY十字叠加结构，内置直线电机，步进/扫描 Z轴采用高精度音圈电机，用于光学调焦，重复定位精度±0.2um XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um。
产品特性：
XY十字叠加结构，内置直线电机，步进/扫描
Z轴采用高精度音圈电机，用于光学调焦，重复定位精度±0.2um
XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um
典型应用领域：6/8寸/12寸晶圆检测
上海市闵行区庙泾路66号F510室