XYZ堆叠结构,结构紧凑 XYZ 三轴内置直线电机 XYZ集成高精度光栅尺,重复定位精度±1um。
产品特性:
XYZ堆叠结构,结构紧凑
XYZ 三轴内置直线电机
XYZ集成高精度光栅尺,重复定位精度±1um
典型应用领域:手机/电脑精密零件组装/点胶/检测等
XYZ 平台用于晶圆测量
XTS磁悬浮传输系统
XYZ微型显微镜平台
中空XY 晶圆检测平台