XYZ堆叠结构,结构紧凑 XYZ 三轴内置直线电机 XYZ集成高精度光栅尺,重复定位精度±1um。
产品特性:
XYZ堆叠结构,结构紧凑
XYZ 三轴内置直线电机
XYZ集成高精度光栅尺,重复定位精度±1um
典型应用领域:手机/电脑精密零件组装/点胶/检测等
XYZ 晶圆检测平台
XYZ微型显微镜平台
XYZ光纤耦合平台
XY龙门双驱平台