XY十字叠加结构,内置直线电机 XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±1um XY采用风琴罩防尘设计
产品特性:
XY十字叠加结构,内置直线电机
XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±1um
XY采用风琴罩防尘设计,
典型应用领域:恶劣工况XY高精定位、激光微加工/激光切割
系统应用3
XYZ微型显微镜平台
XYT晶圆测试平台
龙门双驱平台用于测试和激光应用