5轴平台用于3D测量

5轴全直驱，其中XYZ三轴为直线电机，A/C轴为直驱力矩电机 XYZ行程=360mm*360mm*200mm, A/C 360度旋转角度 优化的结构设计，高刚性 XYZ气冷设计，控制温升，重复定位精度可达±0.75um XYZ轴最大速度1m/s,最大加速度3-4g Z轴采用电磁弹簧设计，安全性高。

产品特性：

5轴全直驱，其中XYZ三轴为直线电机，A/C轴为直驱力矩电机 

XYZ行程=360mm*360mm*200mm, A/C 360度旋转角度

优化的结构设计，高刚性

XYZ气冷设计，控制温升，重复定位精度可达±0.75um

XYZ轴最大速度1m/s,最大加速度3-4g

Z轴采用电磁弹簧设计，安全性高

5轴均内置高精度光栅尺反馈

典型应用领域：2D/3D高精度检测与测量