XY轴固定龙门设计,结构紧凑 XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.75um Z轴采用特别设计,用于光学调焦,可承载45Kg,重复定位精度±1um。
产品特性:
XY轴固定龙门设计,结构紧凑
XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.75um
Z轴采用特别设计,用于光学调焦,可承载45Kg,重复定位精度±1um
典型应用领域:PCB曝光机、精密零件组装/检测
XYZ 平台用于晶圆测量
XYZ微型显微镜平台
6轴迷你平台用于光学调平定位
XYT晶圆测试平台