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XYZ固定龙门平台

XY轴固定龙门设计,结构紧凑 XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.75um Z轴采用特别设计,用于光学调焦,可承载45Kg,重复定位精度±1um。

产品特性:

XY轴固定龙门设计,结构紧凑

XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.75um

Z轴采用特别设计,用于光学调焦,可承载45Kg,重复定位精度±1um

典型应用领域PCB曝光机、精密零件组装/检测



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