XYT晶圆测试平台

XY中空设计，Class100 XY十字叠加结构，内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨 XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um，绝对定位精度2um T轴为高精度力矩电机，轴向/径向端跳＜3um，360度旋转。

产品特性：

XY中空设计，Class100

XY十字叠加结构，内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨

XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um，绝对定位精度2um

T轴为高精度力矩电机，轴向/径向端跳＜3um，360度旋转

典型应用领域：4/6/8寸晶圆检测/测试

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