6轴迷你平台用于光学调平定位

XY为超博直线电机，内置光栅尺，重复定位精度＜1um Theta轴为直驱力矩电机，角度调整，内置光栅尺最上端为3个Z轴音圈电机，特殊算法，内置光栅尺，可以实现上下调焦及超高精度调平

产品特性：

XY为超博直线电机，内置光栅尺，重复定位精度＜1um

Theta轴为直驱力矩电机，角度调整，内置光栅尺

最上端为3个Z轴音圈电机，特殊算法，内置光栅尺，可以实现上下调焦及超高精度调平

典型应用领域：电子元器件精密装配/检测、晶圆检测

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