PGS-XY 系列多轴精密晶圆平台

PGS-XY特点：堆叠XY平台；高速，高加速；高精度，高刚性；无齿槽力

设计特点：

A. 堆叠XY平台

B. 高速，高加速

C. 高精度，高刚性

D. 圆晶平台

E. 无齿槽力

规格参数

PGS-XY
参数规格①②	单位	精度等级
参数规格①②	单位	P	UP
双向重复定位精度	μm	±0.3	±0.3
定位精度 (补偿后)	μm	±0.5	±0.5
平面度	μm	5	5
总直线度	μm	7.5	7.5
局部直线度	μm/cm	±1	±1
俯仰	arcsec	20	20
俯仰重复性	arcsec	±0.5	±0.5
偏摆	arcsec	20	20
偏摆重复性	arcsec	±0.5	±0.5
最小步进	nm	80	20
典型静态抖动③	nm	±20	±5
编码器
信号周期④	μm	20	4
编码器类别	-	光学	光学
输出信号	-	SINCOS	SINCOS

PGS-XYB4742P-U61U57-XXX⑤
机械参数	单位	数值
机械参数	单位	下轴	上轴
宽	mm	876
长	mm	900
高(包括拖链)	mm	277
高(安装面)	mm	185
总有效行程	mm	470	420
总质量	kg	160
输出力	单位	下轴	上轴
峰值推力	N	3744	1560
持续推力	N	662	276
注： ①测试工况无负载。测试高度距上轴安装面200mm。 ②参数为单轴（例如： X 和 Y 轴）。 ③高性能直流驱动器。截止频率 = 1kHz。 ④更高精度编码器可定制。 ⑤PGS-XYB4742P-U61U57-XXX的机械尺寸。 ★除了适用于标准环境的运动平台，雅科贝思也提供适用于超高真空（10-7 Torr），带磁屏蔽的高精度运动平台。

尺寸图

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