TGS-XY 系列标准多轴精密平台

TGS-XY下轴使用三根导轨达到更好的性能，支持更长长行程的上轴。使用定制的带气管紧凑排线，是半导体行业的理想选择。

设计特点：

A. 三轨堆叠XY平台

B. 下轴使用三根导轨，支持更长长行程的上轴

C. 使用定制的带气管紧凑排线

参数规格	单位	L	U
电机型号	-	AUM5-S3	AUM4-S3
持续推力	N	295	166
峰值推力	N	2122	936
力常数 ±10%	N/Arms	117.9	72.0
反电势常数 ±10%	Vpeak/(m/s)	96.3	58.8
有效行程	mm	500	500
分辨率	μm	0.5/0.1/SINCOS	0.5/0.1/SINCOS
重复定位精度	μm	±2/±1	±2/±1
直线度	μm	±10	±10
平面度	μm	±10	±10
额定负载	kg	NA	20
空载运动质量	kg	40	7
空载总质量	kg	370	370
最大静态力矩	Nm	NA	10
注: ●此参数表是此种类型平台典型值。 ●请联系我们获取更多选项。 ★特殊环境要求，可定制

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