中空XY 晶圆检测平台

XY中空设计 XY行程288mm*288mm XY十字叠加结构，内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨 XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um，绝对定位精度2um

产品特性：

XY中空设计

XY行程288mm*288mm

XY十字叠加结构，内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨

XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um，绝对定位精度2um

典型应用领域：4/6/8寸晶圆检测

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